目前的電子廠房潔凈室潔凈等級(jí)大部分在1000級(jí)(ISO6級(jí))-10000級(jí)(ISO7級(jí))之間,其相當(dāng)?shù)膿Q氣次平均在25-60次/H,室內(nèi)溫度在22±2℃,相對(duì)濕度55±5%。
電子廠房潔凈室常見(jiàn)的空調(diào)處理方式有兩種:
1. MHU+AHU+HEPA,簡(jiǎn)稱(chēng)AHU系統(tǒng)
2. MAU+FFU+DC,簡(jiǎn)稱(chēng)FFU系統(tǒng)
大多數(shù)已建成的電子廠采用的是AHU系統(tǒng),而新建廠房多采用FFU系統(tǒng)。